Capteurs et micro technologie

Les compétences & savoir-faire de la Plateforme  concernent deux familles de capteurs :

• les capteurs inertiels miniatures : accéléromètres, sismomètres, gyromètres, magnétomètres, résonateurs photo acoustiques. Un domaine d’utilisation étendue, une miniaturisation et des coûts de réalisation les plus bas possible sont recherchés. De plus, le laboratoire même des recherches amont sur les nouveaux cristaux à 2 dimensions (graphène, Nitrure de Bore)
• les capteurs en couches minces pour les mesures sur bancs d’essais de turbomachines et de chambres de combustion. Ils sont réalisés sur des supports en céramique ou directement sur des parties métalliques fixes (carters, chambres de combustion) ou mobiles (aubes) de turbomachines. Ces capteurs miniatures sont peu intrusifs, exploitables en environnement sévère, à haute température, et présenter de grandes bandes passantes fréquentielles afin de reproduire fidèlement l’évolution rapide des grandeurs mesurées. Il s’agit de :
  • jauges de déformation
  • capteurs thermiques (thermocouples, fluxmètres, mesure du coefficient d’échange gaz-paroi)
  • capteurs de pression instationnaire à base de nitrure d’aluminium piézoélectrique

• Matériaux
• Micro technologies
• Mécanique des milieux continus
• Electronique
• Traitement du signal
• Modélisation multiphysique
• Réseau de capteurs pour la surveillance de zone par mesures sismiques : capteurs, électronique et traitement du signal
• Capteurs MEMS/NEMS (Micro/Nano Systèmes) : concept de l’élément sensible, moyens de réalisation par micro/nanotechnologie, électronique et traitement du signal, caractérisation et tests (accéléromètres, gyromètres, magnétomètres, résonateurs pour temps/fréquence)
• Capteurs couches minces pour environnement sévère (jauges, thermomètres, fluxmètres, capteurs de pression instationnaire Nitrure d’Aluminium (AlN)
• Synthèse par CVD (Chemical Vapor Deposition) des cristaux 2D graphène et nitrure de bore et capteurs associés : capteur de gaz, magnétomètre, électrode conductrice pour matériaux piézoélectriques
• Moyens de caractérisation : tables tournantes, enceintes climatiques, pots vibrants, hexapode

• Salle blanche de micro-nanotechnologie dédiée matériaux diélectriques et piézoélectriques comprenant :
  • Des bâtis de dépôts de couches minces par évaporation sous vide et pulvérisation cathodique
  • Un bâti de gravure ionique réactive pour diélectrique (DRIE : Deep Reactive ion Etching)
  • Un laboratoire de chimie et de gravure chimique de wafers
  • Des moyens de photolithographie optique avec machine d’alignement de masque double face
  • Une machine de synthèse de matériaux par CVD (Chemical Vapor Deposition)
  • Des moyens de caractérisation optique et par microscopie RAMAN
• Moyen de simulation multiphysique
• Moyens de caractérisation et de test pour la validation des concepts mis en œuvre

SAFRAN (Capteurs couches minces, jauges de déformation, fluxmètres), iXBlue, THALES, SAFRAN Electronic et Defense (accéléromètre vibrant en Quartz).

Capteurs miniatures – Réseau de capteurs – Microtechnologie – Nanotechnologie – MEMS – Piézoélectricité – Quartz – Salle blanche – Simulation multiphysique – Prototypage – Caractérisation – Test