Micro nano technologies
Fabriquer et valider des composants électroniques
La Plateforme propose des moyens pour la fabrication de composants électroniques (micro- et nano-technologies) selon les technologies MOS et MEMS.
Les travaux concernent typiquement :
- La réalisation des traitements de wafers 200 et 300 mm qui peuvent être appliqués aux dispositifs semiconducteurs ainsi qu’aux microsystèmes
- Le développement des générations CMOS 45-32-22-14 (plateforme 300 mm)
- La validation de nouvelles architectures et développement technologique de microsystèmes et nanosystèmes (plateforme 200 mm)
- Fabrication de composants électroniques.
- Ingénierie de surface appliquée à l’électronique (couches minces)
- Ligne de prototypage de circuits sur wafer 200 et 300mm
- Ligne de prototypage MEMS 200mm
- 500 équipements de traitement au sein d’une salle blanche de 8 000 m²
- La Plateforme MOS et la plateforme MEMS sont reliées par un système innovant de salle blanche mobile, ce qui permet une plus grande flexibilité et un traitement plus rapide des lots
- Prototypage
- Prestations R&D
- Caractérisation / Test
Le LETI est certifié ISO 9001.
2015 – Première mondiale pour la fabrication d’accéléromètres de type MEMS (Micro-electro-mechanical-system) produits sur des tranches de silicium de 300 mm de diamètre.
Start-up TRONICS, acteur mondial des MEMS, Start-up WAVELENS.
Fabrication composants électroniques – MOS – CMOS – MEMS
- DESCRIPTION
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La Plateforme propose des moyens pour la fabrication de composants électroniques (micro- et nano-technologies) selon les technologies MOS et MEMS.
Les travaux concernent typiquement :
- La réalisation des traitements de wafers 200 et 300 mm qui peuvent être appliqués aux dispositifs semiconducteurs ainsi qu’aux microsystèmes
- Le développement des générations CMOS 45-32-22-14 (plateforme 300 mm)
- La validation de nouvelles architectures et développement technologique de microsystèmes et nanosystèmes (plateforme 200 mm)
- COMPÉTENCES & EXPERTISES
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- Fabrication de composants électroniques.
- Ingénierie de surface appliquée à l’électronique (couches minces)
- MOYENS
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- Ligne de prototypage de circuits sur wafer 200 et 300mm
- Ligne de prototypage MEMS 200mm
- 500 équipements de traitement au sein d’une salle blanche de 8 000 m²
- La Plateforme MOS et la plateforme MEMS sont reliées par un système innovant de salle blanche mobile, ce qui permet une plus grande flexibilité et un traitement plus rapide des lots
- PERSPECTIVES DE COLLABORATION
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- Prototypage
- Prestations R&D
- Caractérisation / Test
- RÉFÉRENCES
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Le LETI est certifié ISO 9001.
2015 – Première mondiale pour la fabrication d’accéléromètres de type MEMS (Micro-electro-mechanical-system) produits sur des tranches de silicium de 300 mm de diamètre.
Start-up TRONICS, acteur mondial des MEMS, Start-up WAVELENS.
- MOTS CLÉS
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Fabrication composants électroniques – MOS – CMOS – MEMS
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